一. 引言
薄膜作为重要的电子和光学材料,其厚度控制是一个关键指标。GB/T 6672标准《金属和其他非金属材料的测厚方法》为薄膜厚度测量提供了统一的技术要求和试验方法。本文将详细介绍薄膜测厚仪如何基于该标准进行测量。
二. GB/T 6672标准概述
GB/T 6672标准规定了金属和其他非金属材料厚度测量的通用方法,包括以下几种测量方法:
接触式测量法：使用测厚表、千分尺等直接接触材料表面的测量工具。
非接触式测量法：利用光学干涉、涡流等原理进行非接触测量。
电磁波测量法：利用电磁波在材料中的反射或透射特性进行测量。
标准中还规定了测量的一般要求、校准方法、测量不确定度评估等内容。
三. 薄膜测厚仪的GB/T 6672标准试验方法
薄膜测厚仪通常采用非接触式测量方法,如光学干涉法。其测量步骤如下:
样品准备：清洁并固定好待测样品,确保表面平整无污染。
仪器校准：根据标准要求,使用厚度已知的标准薄膜对测厚仪进行校准。
测量过程：选择合适的测量点,将样品置于测厚仪测量区域内,启动自动测量程序。
结果分析：记录多次测量结果,计算平均值和标准偏差,评估测量不确定度。
编制：根据标准要求编写测试,包括测量方法、结果数据、不确定度分析等内容。
四. 结语
GB/T 6672标准为薄膜厚度测量提供了规范化的试验方法,确保测量结果的准确性和可靠性。采用该标准,薄膜测厚仪可以实现标准化的测量流程,为薄膜制备和质量控制提供有力支撑。